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第一作者：收r收获HayoungSong、YoungJinSong通讯作者：Sung-MinLee通讯单位：韩国国立国民大学论文doi：https://doi.org/10.1038/s41528-022-00199-z本文由温华供稿。特别地，全程所设计的顶层TFE不仅可以实现高渗透阻隔性能，还可以构建低压介电抗熔剂。